새로운 방법, 상온에서 경질 소재에 나노스케일 패턴 생성…칩 제조 향상 가능

연구진이 상온에서 단 한 번의 공정으로 단단한 칩 재료에 정렬된 나노 주름 패턴을 만드는 방법을 공개했다.

이들은 이방성 알파 몰리브덴 트라이옥사이드 층과 전자빔을 이용해 실리카 같은 절연체 표면에 패턴을 새겼다.

패턴 형성 뒤 임시 층을 떼어내면서, 기존의 복잡한 다단계 공정 없이도 강한 기판에 구조를 남겼다.

이 기술은 회절격자와 포토닉 소자 같은 광학·전자 부품 제조를 더 싸고 단순하게 만들 수 있다.