상하이 아이셩나, 중국 최초 국산 침지 DUV 반도체 제조 장비 제조사로 지목… 2038년까지 첫 실사용 가능한 국산 7nm급 스캐너 완성 예정
Shanghai Aishengna named as the maker of China's first domestic immersion DUV chipmaking tools — first viable domestic 7nm-capable scanner to be completed by 2038
TL;DR AI
1분핵심 요약
로이터는 상하이 아이성나 전자기술그룹이 중국 최초의 국내산 침지형 DUV 노광 스캐너를 생산하고 있다고 보도했다.
이 회사는 2023년 설립됐으며, 국유 반도체 장비 국산화 노력과 연결돼 있다.
해당 장비는 SMIC, 화홍반도체, CXMT 등에 공급될 가능성이 있다.
다만 중국은 포토레지스트, 엑시머 레이저, 정밀 광학 부품에서 여전히 병목이 있어 DUV 국산화와 첨단 공정 확대에 제약이 남아 있다.
침지형 DUV는 EUV가 없는 환경에서 고급 반도체 생산에 핵심이며, 국내 공급망이 자리 잡으면 중국의 해외 장비 의존도를 낮출 수 있다.